⒈ 亦作“以至于”。亦作“以至於”。

⒉ 連詞。猶言直至，直到。表示在時間、程度、范圍、數量上的延伸。

引《左傳·昭公十六年》：“恃此質誓，故能相保，以至于今。”
金王若虛《五經辨惑上》：“蓋人之所以陷于禍敗以至失身者，由其愚暗妄行，不知理義故耳。”
明胡應麟《少室山房筆叢·丹鉛新錄八》：“古者婦人屨與男子同，自后妃以至命婦，制度質采，咸有等差，不得踰僭。”
明王守仁《大學問》：“君臣也，夫婦也，朋友也，以至於山川鬼神鳥獸草木也，莫不實有以親之。”

例如：生產效率提高幾倍以至十幾倍。

⒊ 連詞。表示由于上文所說的情況，引出了下文的結果。

引宋王讜《唐語林·補遺二》：“德宗時， 楊炎、盧杞為宰相，皆奸邪用事，樹立朋黨，以至天子播遷，宗社幾覆。”
張振金《五峰如指翠相連》：“黎族人民對革命的忠誠，以及對建設山區的遠大理想，激勵著我，以至于使我忘記了山路的艱險。”

一直到。